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噴膠機

獨立超聲噴涂機臺

  • TDM1200/800/600
  • M 型噴膠產品
  • M 型架構產品滿足半自動半導體超聲噴涂光阻工藝生產需要,單元模塊化設計,可選配多種噴膠功能部件,滿足半導體高端封裝/MEMS/光學模組/柔性基板/不規則基材等不同噴涂光阻工藝生產的客戶需求
  M 型架構產品滿足半自動半導體超聲噴涂光阻工藝生產需要,單元模塊化設計,可選配多種噴膠功能部件,滿足半導體高端封裝/MEMS/光學模組/柔性基板/不規則基材等不同噴涂光阻工藝生產的客戶需求。
  . 適用于 6 英寸,8 英寸或 12 英寸晶圓≤500mm 方片等產品
  . 基材:硅晶圓、玻璃、陶瓷、柔性薄膜、金屬等
  . 適用于膠膜厚度 0.8-20um 噴涂工藝產品生產
  . 模塊化的單元便于維護
  . 圖形化的人機交互界面


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