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涂膠顯影機

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中道涂膠顯影機

  • TDC1200/800/600
  • C型產品
  • C型架構產品滿足中等量產需要,單元模塊環繞Robot設計,Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合,可選輔助功能配件實現不同工藝生產需求,滿足半導體前道/高端封裝/MEMS/LED等不同工藝生產的客戶
 
  C型架構產品滿足中等量產需要,單元模塊環繞Robot設計,Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合,可選輔助功能配件實現不同工藝生產需求,滿足半導體前道/高端封裝/MEMS/LED等不同工藝生產的客戶需求。
 
  . 適用于6英寸,8英寸或12英寸產品。
 
  . 基材:硅晶圓,玻璃,藍寶石片,砷化鎵等(柔性基材需要特殊定制)。
 
  . 適用于Krf,i-line,etc產品生產。
 
  . 適用于Package,PI,SOD,etc產品生產。
 
  . 模塊化的單元便于維護。
 
  . 圖形化的人機交互界面。
 

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