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涂膠顯影機

前道涂膠顯影機

  • TDF1200/800/
  • F 型產品
  • F 型架構產品滿足大規模量產需要,多層單元模塊化設計,Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合,可選輔助功能配件實現不同工藝生產需求,可選與光刻機聯線功能,滿足半導體前道/高端封裝/MEMS 等不同工藝生產的客戶需求
  F 型架構產品滿足大規模量產需要,多層單元模塊化設計,Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合,可選輔助功能配件實現不同工藝生產需求,可選與光刻機聯線功能,滿足半導體前道/高端封裝/MEMS 等不同工藝生產的客戶需求。
  . 適用于 8 英寸或 12 英寸產品
  . 基材:硅晶圓,玻璃
  . 適用于 front-end,Krf,i-line,等產品生產
  . 適用于 Advantage Package,PI,SOD,等產品生產
  . 模塊化的單元便于維護
  . 圖形化的人機交互界面

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